长沙产业发展注入强“芯”剂
湖南三安半导体产业园正式投产，系国内首条碳化硅全产业链生产线
历时11个月建设期，最高峰时1500多人同步施工作业，23日，总建筑面积22.2万平方米的湖南三安半导体产业园项目竣工点亮仪式顺利举行，这标志着湖南首个第三代半导体产业园落成，国内首条碳化硅全产业链生产线正式投产。
“为了满足半导体制造工艺需求，生产车间必须达到洁净车间的标准。”项目施工方、中建五局三公司项目执行经理周祥告诉记者，洁净标准一般按照一级、十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级等划分，数值越小，代表净化级别越高。“普通公共场所杀菌消毒可参照三十万级标准，医院ICU病房杀菌消毒参照十万级标准，而湖南三安半导体产业园项目半导体电子生产厂房M2B碳化硅芯片厂房为百级标准，每立方英尺的空气中大于等于0.5微米粒径的粒子数量不超过100个，洁净等级标准上远远领先于行业。”
为了保证无尘洁净室大面积生产车间的空气洁净度，需要建立洁净空调通风系统，车间楼板中需预留大量规则的圆柱形垂直孔洞，以形成回风通道。
三安光电股份有限公司副董事长、总经理林科闯表示，湖南三安半导体的业务涵盖衬底材料、外延生长、晶圆制造及封装测试等环节，打造了国内第一条、全球第三条碳化硅垂直整合产业链。
湖南三安半导体产业园的投产，将为长沙注入强“芯”剂，凭借完整的碳化硅产业链布局和强大的制造平台，项目将快速发展为具有自主知识产权、掌握核心技术与行业话语权、具有重要国际影响的碳化硅材料与器件产业生产基地。长沙晚报6月23日讯(全媒体记者 陈焕明 通讯员 王丽 杨灏)
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