湖南三安半导体产业园正式投产 系国内首条碳化硅全产业链生产线

2021-06-24 11:22:32

长沙产业发展注入强“芯”剂

湖南三安半导体产业园正式投产,系国内首条碳化硅全产业链生产线

历时11个月建设期,最高峰时1500多人同步施工作业,23日,总建筑面积22.2万方米的湖南三安半导体产业园项目竣工点亮仪式顺利举行,这标志着湖南首个第三代半导体产业园落成,国内首条碳化硅全产业链生产线正式投产。

“为了满足半导体制造工艺需求,生产车间必须达到洁净车间的标准。”项目施工方、中建五局三公司项目执行经理周祥告诉记者,洁净标准一般按照一级、十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级等划分,数值越小,代表净化级别越高。“普通公共场所杀菌消毒可参照三十万级标准,医院ICU病房杀菌消毒参照十万级标准,而湖南三安半导体产业园项目半导体电子生产厂房M2B碳化硅芯片厂房为百级标准,每立方英尺的空气中大于等于0.5微米粒径的粒子数量不超过100个,洁净等级标准上远远领先于行业。”

为了保证无尘洁净室大面积生产车间的空气洁净度,需要建立洁净空调通风系统,车间楼板中需预留大量规则的圆柱形垂直孔洞,以形成回风通道。

三安光电股份有限公司副董事长、总经理林科闯表示,湖南三安半导体的业务涵盖衬底材料、外延生长、晶圆制造及封装测试等环节,打造了国内第一条、全球第三条碳化硅垂直整合产业链。

湖南三安半导体产业园的投产,将为长沙注入强“芯”剂,凭借完整的碳化硅产业链布局和强大的制造台,项目将快速发展为具有自主知识产权、掌握核心技术与行业话语权、具有重要国际影响的碳化硅材料与器件产业生产基地。长沙晚报6月23日讯(全媒体记者 陈焕明 通讯员 王丽 杨灏)

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